高精度高速晶圓搬運(yùn)磁場(chǎng)測(cè)量特斯拉計(jì)磁強(qiáng)計(jì)

高精度高速晶圓搬運(yùn)磁場(chǎng)測(cè)量特斯拉計(jì)磁強(qiáng)計(jì)

半導(dǎo)體制造應(yīng)用 · 臺(tái)式 · 高斯/特斯拉 · 非接觸磁場(chǎng)
0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采樣 · 重量 2.1 kg · 5 年壽命

一、產(chǎn)品定位

• 半導(dǎo)體制造應(yīng)用：離子注入、MOCVD、磁控濺射、磁夾具、晶圓搬運(yùn)
• 臺(tái)式高斯計(jì)/特斯拉計(jì)：非接觸磁場(chǎng)測(cè)量，0.1 mG – 35 T，臺(tái)式 2.1 kg
• F71 系列：0.1 mG – 35 T，0.01 % 精度，1 MHz 采樣，5 年壽命

半導(dǎo)體制造應(yīng)用 · 臺(tái)式 · 高斯/特斯拉 · 非接觸磁場(chǎng)
0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采樣 · 重量 2.1 kg · 5 年壽命

一、產(chǎn)品定位

• 半導(dǎo)體制造應(yīng)用：離子注入、MOCVD、磁控濺射、磁夾具、晶圓搬運(yùn)
• 臺(tái)式高斯計(jì)/特斯拉計(jì)：非接觸磁場(chǎng)測(cè)量，0.1 mG – 35 T，臺(tái)式 2.1 kg
• F71 系列：0.1 mG – 35 T，0.01 % 精度，1 MHz 采樣，5 年壽命

二、核心技術(shù)參數(shù)（F71）

三、功能亮點(diǎn)

1. 0.1 mG – 35 T 全范圍：從地球磁場(chǎng)到 35 T 全范圍，半導(dǎo)體磁場(chǎng)全覆蓋
2. 0.01 % 超高精度：0.01 % RDG，磁場(chǎng)重復(fù)性 ≤ 0.01 mG
3. 1 MHz 高速采樣：1 MHz 實(shí)時(shí)采樣，適合快速磁場(chǎng)變化
4. ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無(wú)泄漏
5. 2.1 kg 超輕：A5 底面積，可手提移動(dòng)，實(shí)驗(yàn)室即用