高精度定位單元多孔質陶瓷制空氣滑塊

產品名稱: 高精度定位單元多孔質陶瓷制空氣滑塊

產品型號: RC系列

產品特點: 高精度定位單元多孔質陶瓷制空氣滑塊
日本 PM-T 的 RC 系列「陶瓷制空氣滑塊」定位為“測量設備用高精度定位單元"，典型特點是把多孔質陶瓷導軌 + 靜壓空氣軸承集成在一條緊湊底座內，可在 2400 mm 行程內實現 ≤ 2 µm 的直線度，重復再現性 0.2 µm 以內，適用于三坐標、激光測厚、晶圓檢測等需要亞微米級定位的測量工位。

高精度定位單元多孔質陶瓷制空氣滑塊 的詳細介紹

高精度定位單元多孔質陶瓷制空氣滑塊

日本 PM-T 的 RC 系列「陶瓷制空氣滑塊」定位為“測量設備用高精度定位單元"，典型特點是把多孔質陶瓷導軌 + 靜壓空氣軸承集成在一條緊湊底座內，可在 2400 mm 行程內實現 ≤ 2 µm 的直線度，重復再現性 0.2 µm 以內，適用于三坐標、激光測厚、晶圓檢測等需要亞微米級定位的測量工位。

主要規格與優勢

材質：導軌與滑塊工作臺整體燒結陶瓷，質量輕、熱膨脹系數低，長時間使用彎曲變形量小。
精度（出廠實測附報告）

直線精度：垂直/水平面內與理想直線偏差 ≤ 2 µm/2400 mm
滑塊上表面平行度：±1 µm/100 mm
重復定位：0.2 µm（未加載，0.1 MPa 供氣）

結構選項

可移動式（手動/電機驅動）與定置式兩種；最長 3500 mm 拼接供貨。

接口與附件

標準底座兩側帶 M4 螺紋孔，可直接鎖至花崗巖平臺或鋁框架；
可選配 PM-T 伺服/步進一體驅動單元，實現閉環 0.01 µm 分辨率。

使用環境

供氣 0.4-0.6 MPa 潔凈干燥空氣；
溫度 20 ± 1 ℃ 時性能最佳，可在 Class 1000 潔凈室長期運行。

綜上，RC 系列通過“全陶瓷導軌 + 靜壓空氣軸承"把直線度控制在 2 µm 級，同時保持 0.2 µm 重復性，是測量設備或半導體檢查裝置實現高精度、長行程定位的典型空氣滑塊方案。

日本 PM-T 的 RC 系列「陶瓷制空氣滑塊」定位為“測量設備用高精度定位單元"，典型特點是把多孔質陶瓷導軌 + 靜壓空氣軸承集成在一條緊湊底座內，可在 2400 mm 行程內實現 ≤ 2 µm 的直線度，重復再現性 0.2 µm 以內，適用于三坐標、激光測厚、晶圓檢測等需要亞微米級定位的測量工位

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主要規格與優勢