半導(dǎo)體排氣用免維護(hù)在線臭氧濃度監(jiān)測計

半導(dǎo)體排氣用免維護(hù)在線臭氧濃度監(jiān)測計

1. “光源壽命 10 年免維護(hù)"——UV-LED 254 nm 吸收法，連續(xù)輸出 4–20 mA / RS-485，用于半導(dǎo)體排氣、臭氧發(fā)生器反饋、水處理尾氣、醫(yī)藥潔凈室等 0–200 g/Nm3 寬范圍在線監(jiān)測。

2. 
   

1. “光源壽命 10 年免維護(hù)"——UV-LED 254 nm 吸收法，連續(xù)輸出 4–20 mA / RS-485，用于半導(dǎo)體排氣、臭氧發(fā)生器反饋、水處理尾氣、醫(yī)藥潔凈室等 0–200 g/Nm3 寬范圍在線監(jiān)測。

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1. “光源壽命 10 年免維護(hù)"——UV-LED 254 nm 吸收法，連續(xù)輸出 4–20 mA / RS-485，用于半導(dǎo)體排氣、臭氧發(fā)生器反饋、水處理尾氣、醫(yī)藥潔凈室等 0–200 g/Nm3 寬范圍在線監(jiān)測。

2. 
   

1. 
   

• 光源：深紫外 LED 254 nm，半寬 10 nm，壽命 > 30 000 h（10 年連續(xù)）
• 檢測器：UV-SiC 光電二極管，溫度系數(shù) < 0.02 % / ℃
• 光程：固定 50 mm（OZT-10/30）／10 mm（OZT-100/200）石英管
• 接觸氣體部：316L + 石英 + Viton（可選全 PTFE）
• 采樣流量：0.2 – 2 L min?1，內(nèi)置針閥與 5 µm PTFE 過濾器
• 壓力補(bǔ)償：0 – 150 kPa 絕壓傳感器，自動修正濃度
• 溫度補(bǔ)償：0 – 60 ℃ 自動
• 露點(diǎn)補(bǔ)償：可選電容式濕度傳感器，修正臭氧分解影響
2. 輸出與通信

1. 
   

• 光源：深紫外 LED 254 nm，半寬 10 nm，壽命 > 30 000 h（10 年連續(xù)）
• 檢測器：UV-SiC 光電二極管，溫度系數(shù) < 0.02 % / ℃
• 光程：固定 50 mm（OZT-10/30）／10 mm（OZT-100/200）石英管
• 接觸氣體部：316L + 石英 + Viton（可選全 PTFE）
• 采樣流量：0.2 – 2 L min?1，內(nèi)置針閥與 5 µm PTFE 過濾器
• 壓力補(bǔ)償：0 – 150 kPa 絕壓傳感器，自動修正濃度
• 溫度補(bǔ)償：0 – 60 ℃ 自動
• 露點(diǎn)補(bǔ)償：可選電容式濕度傳感器，修正臭氧分解影響
2. 輸出與通信

1. 
   

• 光源：深紫外 LED 254 nm，半寬 10 nm，壽命 > 30 000 h（10 年連續(xù)）
• 檢測器：UV-SiC 光電二極管，溫度系數(shù) < 0.02 % / ℃
• 光程：固定 50 mm（OZT-10/30）／10 mm（OZT-100/200）石英管
• 接觸氣體部：316L + 石英 + Viton（可選全 PTFE）
• 采樣流量：0.2 – 2 L min?1，內(nèi)置針閥與 5 µm PTFE 過濾器
• 壓力補(bǔ)償：0 – 150 kPa 絕壓傳感器，自動修正濃度
• 溫度補(bǔ)償：0 – 60 ℃ 自動
• 露點(diǎn)補(bǔ)償：可選電容式濕度傳感器，修正臭氧分解影響
2. 輸出與通信